选择  H  公司  28-14nm  逻辑电路晶圆产线作为研究对象，在先进制程的设备采购中具备一定的代表性。http://www.hibor.com.cn【慧博投研资讯】根据中国国际招标网数据统计，相比  90-55nm晶圆制造产线，28-14nm  产线上各类工艺设备的采购量翻倍，但国产化率更低。http://www.hibor.com.cn（慧博投研资讯）我们预计，中微、盛美、北方华创、华海清科更有机会在后续扩产中受益，而沈阳拓荆、沈阳芯源、中科信等工艺设备也有希望获得重复订单。
        相比  90-55nm  制程，12  英寸  28-14nm  制程投资翻番，设备采购量翻倍。
        DRAMeXchange  显示，该项目总投资  380  多亿元，计划产能  4  万片/月，工艺等级为  28-14nm  的  12  英寸逻辑电路芯片生产线。
        该项目首个  1  万片/月产能已于  2016  年开工，2018  年  10  月投片，工期建设  22  个月，至今已累计采购各类工艺设备  400  多台。预计今后年均建产1  万片/月，年均投资  70  亿元（约  10  亿美元）。
        可见，在相同产能的条件下，28-14nm  制程项目的设备采购量和投资金额均相当于  90-55nm  特色工艺产线的两倍左右。
        总体国产设备中标的数量占比  8%，剔除量测口径下国产化率  13%，远低于  90-55nm  制程生产线工艺设备国产化比例。
        根据中国国际招标网数据统计，截至目前，该项目工艺设备已中标数据中，包括光刻机  7  台，刻蚀设备  45  台，CVD58  台，清洗设备  45  台、离子注入机  28  台，PVD20  台，CMP17  台，量测设备  164  台，还有热处理设备  37  台，涂胶显影设备  9  台、去胶设备  11  台，镀铜设备  3  台。
        该产线总体国产设备中标  35  台，国产化率为  8%，不包含量测设备口径下的国产化率为  13%，相同口径下  90-55nm  制程产线国产化率依次是14%、24%。
        各类关键工艺设备国产化差异大，刻蚀、清洗等国产化位于  15%-20%，而  CMP、CVD、PVD、离子注入机、涂胶显影、镀铜设备国产化采购量均为  1-2  台，尚处于工艺验证阶段，量测、光刻国产化率为  0%。
        根据中国国际招标网数据统计，该项目关键工艺设备中，  CMP、CVD、PVD、刻蚀、清洗设备、热处理等的国产化率依次是  6%、3%、10%、16%、20%、14%，去胶设备国产化率  55%（由亦庄国投收购的  Mattson  供应）。离子注入机、涂胶显影、镀铜设备均为首台进入产线，而量测、光刻尚无国产设备进入该产线，100%依赖于进口品牌。
        中微、盛美、北方华创、拓荆、华海清科引领工艺设备国产化。
        根据中国国际招标网数据统计，北方华创中标  6  台工艺设备，中微半导体中标  6  台刻蚀设备，盛美半导体中标  9  台清洗设备和  1  台镀铜设备，华海清科中标  1  台  CMP  设备，沈阳拓荆中标  2  台  CVD  设备，Mattson  中标  6  台去胶设备和  2  台退火设备，沈阳芯源中标  1  台涂胶显影设备，中科信也有首台离子注入机中标，合计  35  台设备。
        根据产线进度规划，我们预计  2019  年将大概率启动该项目第二批  1  万片/月产能对应工艺设备的招投标工作，中微、盛美、北方华创、华海清科将有望提高优势产品的份额。
        投资建议：继续看好半导体设备行业
        从该  28-14nm  制程产线设备中标情况看，先进制程设备采购量及投资额大幅增加，但国产化率低于  90-55nm  特色工艺产线，相比之下，中微、盛美、北方华创、华海清科更有机会在后续扩产中受益，强烈推荐北方华创、精测电子、晶盛机电，建议关注盛美半导体、长川科技。
        风险因素：中国大陆存储厂商投产延缓全球存储芯片周期复苏；中美贸易战继续影响全球经济健康发展。